微孔機(Micro-hole drilling machine)是一種用于加工微小孔洞的精密設備。以下是微孔機的發展歷程:
1.早期階段:20世紀60年代起,微孔機開始出現在工業領域。最初采用的是傳統的機械鉆床和銑床,在經過改進和調整后,用于加工小型孔洞。
2.激光微孔機:隨著激光技術的發展,激光微孔機應運而生。激光微孔機利用激光束對材料進行高能量密度的瞬時加熱,通過蒸發、熔化或燃燒的方式實現微小孔洞的加工。這種技術具有非接觸式加工、無機械壓力和高精度等優點,廣泛應用于電子、汽車、航空航天等領域。
3.高速電解微孔機:高速電解微孔機利用電化學腐蝕原理實現微孔加工。通過在電解液中施加電壓,使電解液在陽極和工件之間形成電解液氣泡,從而在工件表面逐漸形成微孔。高速電解微孔機具有加工速度快、表面質量好等優點,廣泛應用于微機械技術、生物醫學和光學器件等領域。
4.微細EDM(Electric Discharge Machining):微細EDM是一種基于電火花放電原理的微孔加工技術。它利用電火花在工件表面產生瞬時高溫和高壓,從而使工件表面材料溶解、蒸發或冷卻后固化,形成微小孔洞。微細EDM適用于加工高精度、高表面質量和復雜形狀的微孔,廣泛應用于微機械、超精密模具和光纖等領域。
5.激光電解微孔機:激光電解微孔機結合了激光技術和電解加工技術。它通過激光在電解液中對工件進行定向照射,結合電解作用實現微小孔洞的加工。這種技術能夠加工各種材料,并具有高加工速度、高精度和低表面粗糙度等優點,被廣泛應用于微電子、生物醫學和微系統等領域。
隨著科學技術的不斷進步,微孔機將繼續發展,以滿足對微小孔洞加工精度、速度和材料適應性的不斷需求。
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